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- ピエゾアクチュエータ /高速ピエゾステージ
- 低電圧ピエゾ素子OEM仕様（ケース無し）～Stack type piezo actuators～
低電圧ピエゾ素子OEM仕様（ケース無し）～Stack type piezo actuators～
１mVあたりのオープンループ感度
- 150/X/7 ：約0.05nm
- 150/X/20：約0.1nm
オプション～Option～
球体先端部形状（sph） コランダム半球
オーダーコード例：PSt150/5X5/20 sph
※ご指定のない場合は、標準仕様先端部形状になります。
平面先端部形状（pl） 硬鋼材
オーダーコード例：PSt150/5X5/20 pl
※ご指定のない場合は、標準仕様先端部形状になります。
