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真空対応ピエゾアクチュエータ SSL ACT172-VAC-SGS
特長：
- 高真空下で使用可
- 低コスト
- 装置組み込み用
主な仕様：
表．主要一覧
| 検査項目 | 検査結果 | 付記 | |
|---|---|---|---|
| 1 | ストローク （フィードバック制御ON時） |
20.0μm | 制御信号：0V～∔10V SSL 140D使用時 |
| 2 | Scale factor | 2.00[μm/V] | |
| 3 | Position noise | 13.72[nm rms] | |
| 4 | 線形性 | 0.5％ | |
| 5 | Position monitor scale factor | -4.00[μm/V] | モニタ信号.monitor |
※表は左右にスクロールして確認することができます。
図1．SSL ACT172-VAC-SGS概観図
図2．ACT172-SGS寸法図
