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真空対応ピエゾアクチュエータ ACT45-H-SGS-VAC
特長:
- 高速駆動用大容量ピエゾアクチュエータ
- 低コスト
- 装置組み込み用、SGSによるClosed loop 制御
主な仕様:
表.主要一覧
パラメータ | 仕様 | 単位、他 | |
---|---|---|---|
1 | 寸法 | φ20,L:76.7 | ㎜ |
2 | ストローク | ||
Open loop range | >60 | μm (HV: -30V to +150) |
|
Closed loop range | >45 | μm (HV: -30V to +150) |
|
3 | 最大発生力 | 200 | N |
4 | 最大引張力 | 100 | N |
5 | 付属ケーブル | 1)2m Kapton cable in Vacuum 2)8m air side |
フランジを通す信号数:9本 |
6 | 駆動電げ | AC100 | V |
7 | 使用環 | 温度:-10℃~+50℃、湿度:86%RH以下, Vacuum ratio : 10-5Pa |
※表は左右にスクロールして確認することができます。