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- 高性能静電容量変位センサ
- 静電容量センサプローブモデル：SSL SEN２２-S
静電容量センサプローブモデル：SSL SEN２２-S
特長：
- 機械的に堅固な構図
- 装置組み込み用に最適、軽量
- 当センサはカスタム仕様センサプローブです。希望のカスタムセンサの御要望がありましたら、担当営業に御相談ください
２．性能仕様一覧
| パラメータ | 仕様値 | 附記 | |
|---|---|---|---|
| 1 | 分解能 | <500[nm rms] | 1)計測は測定範囲中心gap:7500 [μm]で計測します。 2)Gapが狭いほど、分解能(ノイズレベル)は小さくな ります。 |
| 2 | 長期安定性 | <1.0[μm] | 温度23℃(<+/-0.1℃)、湿度50％(<+/-0.5％)の環境下で、 センサ出力の変動幅を以って長期安定性を定義します。 |
| 3 | 測定レンジ | 3000[μm] Gap:6000～9000 [μm] |
|
| 4 | センサケーブル長 | 1.0[m] |
※表は左右にスクロールして確認することができます。
付属図：
１） センサプローブ _ SSL SENF22
図2．センサプローブSENF22