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- 汎用SP静電センサアンプ 1chタイプ SSL-SPCA2017-1
汎用SP静電センサアンプ 1chタイプ SSL-SPCA2017-1
特長：
- 高分解能、高安定性
- 優れた汎用性
- 装置組み込み用、シングルエンド出力、差動出力選択可
表1．SSL-SPCA2017-1 仕様一覧
| パラメータ | 仕様値 | |
|---|---|---|
| 1 | 測定レンジ | 50µm～3㎜ 注）センサプローブタイプによります。 |
| 2 | 分解能 | <5nm 注）測定レンジ、応答周波数によります。 フルレンジの 1/14000 |
| 3 | 応答周波数（BW） | 標準11kHz |
| 4 | 線形性 | <0.7％/フルレンジ |
| 5 | アナログ出力レンジ | +/-5V、0～+10V、+/-10V 注）発注時に御指定 |
| 6 | 駆動電源 | DC+/-15V,0.2A |
| 7 | 使用環境 | 温度：-10℃～+50℃、環境：86％RH以下 |
| 8 | 寸法 | WHD：100mm(W)*30mm(H)*200mm(D) |
| 9 | 重量 | 0.82㎏ |
※表は左右にスクロールして確認することができます。
図．SSL-SPCA2017-1