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真空対応ピエゾアクチュエータ ACT45-H-SGS-VAC
特長：
- 高速駆動用大容量ピエゾアクチュエータ
- 低コスト
- 装置組み込み用、SGSによるClosed loop 制御
主な仕様：
表．主要一覧
| パラメータ | 仕様 | 単位、他 | |
|---|---|---|---|
| 1 | 寸法 | φ20，L:76.7 | ㎜ |
| 2 | ストローク | ||
| Open loop range | >60 | μm (HV: -30V to +150) |
|
| Closed loop range | >45 | μm (HV: -30V to +150) |
|
| 3 | 最大発生力 | 200 | N |
| 4 | 最大引張力 | 100 | N |
| 5 | 付属ケーブル | 1）2m Kapton cable in Vacuum 2）8m air side |
フランジを通す信号数：9本 |
| 6 | 駆動電げ | AC100 | V |
| 7 | 使用環 | 温度：-10℃～+50℃、湿度：86％RH以下, Vacuum ratio : 10-5Pa |
※表は左右にスクロールして確認することができます。
