FAQ|ピエゾの精密位置決め装置を紹介

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ピエゾ位置決め装置 翔栄システム株式会社 Syouei System Co.,Ltd.

FAQ

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1: ピエゾの寿命はどれ位、ピエゾの信頼性を上げて、長く使うにはどうしたらよいですか。
1: 非常に保証しにくい点です。ピエゾ素子は基本的に消耗品と考えてお使い下さい。使いようによっては4、5年使っても壊れない場合がありますし、無理な使い方をされますと数週間で壊 れてしまう場合もあります。ピエゾ素子の特性をよく理解し、使いこなすことが重要です。
以前よりピエゾ素子の寿命は1億回とおおざっぱに言われてまいりましたが、一般に、以下の点を注意してお使いになられますとピエゾを長く使うことができます。

1) ピエゾ素子の選定にはストローク的に少し余裕を持たせ、もし可能ならばピエゾの全ストロークの内70%から80%以内で使うこと。
2) 繰り返し周波数をあまり上げ過ぎますと素子そのものが熱くなります。そのような使い方が必要な場合、そのような使い方でも壊れにくいタイプのものを選ぶか、放熱板を付けてケースを空冷で冷やようにする。
3) ピエゾアクチュエータを固定する際、軸方向に対して横方向の力が加わらないように、周辺部の設計をする。
4) 使用しない場合には、ピエゾに加わるHVを低く設定するようにシステム設計をする。
5) 周辺の温度、湿度はできるだけ低めにして使用する。高温,高湿の環境で使われたい場合には、そのような使われ方をしても壊れにくいオプションのあるピエゾを選択して下さい。
6) 使われない期間のピエゾアクチュエータは湿度の低い、涼しい場所に保管する。

その他、詳しいことは担当営業にお尋ね下さい。

2: ピエゾアクチュエータ、ピエゾステージを高速駆動させるにはどうしたらよいですか。
2: ピエゾを含めた周辺のメカ設計を共振周波数が高くなるように設計し、ピエゾ駆動装置の電流容量は十分に大きく、サーボ機能を最適に調整します。翔栄システム(株)では全てに配慮したシステム設計で対応させていただきます。
3: サーボシステムで、フィードバック用センサに歪ゲージ、静電容量センサ、渦電流センサと3種類のセンサを使われていますが、どのように使い分けますか。
3: 翔栄システム(株)ではフィードバックシステムを設計する際、ユーザのニーズに合った低価格のシステムを設計します。以下の表にありますように各センサの特徴を生かして最も適したセンサを採用します。
センサタイプ 歪ゲージ 静電容量センサ 渦電流センサ
分解能 測定レンジの1/1000 測定レンジ、応答周波数に依存
レンジ:50μm
応答周波数:100Hz
<1nm rms
測定レンジ、応答周波数に依存
レンジ:500μm
応答周波数:1kHz
40nm rms
安定性 やや優れている 優れている 優れている
測定レンジ 基本的にピエゾアクチュエータのみ使用可
最大200μm
Max:9mm Max.15mm
耐久性
応答周波数 100Hz 最高15kHz 最高80kHz
コスト
4: コストパフォーマンスの高い精密位置決め装置を設計するための必要条件は何でしょう。
4: ズバリ、ユーザの要望を正確にお聞きし、一切の無駄を省いた、カスタム製品のOEM供給によって可能になります。翔栄システム(株)ではセンサ類では100チャンネル以上、ステージ類では50チャンネル以上から、OEM供給対応製品として特別価格で供給させていただいています。
5: 真空対応、高温下、低温下で使える位置決め装置はありますか。
5: それぞれセンサ、ピエゾアクチュエータ、ステージとも実績があります。
特に極低温対応品は開発が終了し、納品が始まったばかりです。標準品として販売は2009年8月以降になります。それ以前であっても、特注扱いで対応させていただきます。
6: 他社の精密位置決め装置を既に購入して持っていますが、グレードアップは可能でしょうか。
6: はい、対応させていただいています。できるだけ既に御所有の機材を生かして、新しい機能を持たせる方法を御相談させていただきます。遠慮なくお問い合わせ下さい。
7: 要素技術、センサのみ、ピエゾのみ、ステージのみの購入は可能でしょうか。
7: はい、ご希望により対応しています。特にセンサ、ピエゾのOEM供給には多くの実績があります。お気軽に御相談下さい。
8: 海外製品も使われていらっしゃるようですが御社の使われている部品、或いは技術の自社製品率、国産率はどれ位でしょうか。
8: 自社製品で性能的に対応できない場合のみ、海外製品を使います。しかし、自社に技術力がついてまいり、要素技術の一つ渦電流センサ以外は2009年以内に100%自社製品化、国産化100%の予定です。従って、高性能、低価格、迅速対応サポートが可能になります。
9: 保守、サービスなどの対応はどのようになっていますか。
9: 一般にこの分野の高性能製品は、高額な海外製品に占められ、コスト高と保守、サービスは全て海外本社任せが当たり前になっていました。翔栄システム(株)では高い自社製品率と材料の国産率をともに100%をめざし、高性能、低価格、短納期、迅速なサポートを実現しました。特にこの分野のメートル原器と呼べる基準調整検査装置を社内に完備し、センサ、位置決め装置とも正確な性能保証ができる点が絶対的な強みです。これは限定されたお客様のみですが、2009年秋には弊社の基準調整検査装置を外販する予定です。
10: 位置決め装置周辺の設計もお願いできますでしょうか。
10: これもよくある要望の一つです。位置決め装置のみ、或いはセンサのみ高性能のものを購入しても、期待した成果が出ないのでは、周辺部分とのマッチングがとれていないからだと思われます。周辺部分の設計の段階から参加させていただきますと、必ず良い結果が得られると思います。そのような要望は喜んで対応させていただきます。
11: 納期はどれくらいかかりますか。
11: 製品により難易度が異なりますが、通常の位置決め装置であれば4週間。よく出る製品ですと3週間。特注の静電容量センサの新規開発品ですと8週間、特注ナノメカニズム(ステージ、アクチュエータ)ですと4週間から10週間。仕事の込み具合にも影響されます。まずは担当営業と御相談下さい。

私たちが、あらゆるニーズにお応えいたします。お気軽にご相談下さい。042-660-1248

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